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晶瑞電材:目前ArF高端光刻膠研發工作在有序開展中

晶瑞電材5月8日公告,9萬噸硫酸產能方面,一期3萬噸已經投產,并向部分12英寸核心半導體廠商進行供應,二期6萬噸預計將于今年建成。

公司i線光刻膠已向中芯國際、合肥長鑫等國內的知名大尺寸半導體廠商供貨;KrF光刻膠生產及測試線已經建成,且KrF光刻膠部分品種已于2022年開始量產,今年將發力拓展新客戶;公司于2020年啟動了集成電路制造用高端光刻膠研發項目,并于2020年下半年購買了ASML1900Gi型光刻機及配套設備,目前ArF高端光刻膠研發工作在有序開展中。

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晶瑞電材

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