一塊指甲蓋大小的Micro-LED晶圓上，密布著數(shù)百萬顆發(fā)光芯片。如何用“火眼金睛”檢測出微米級缺陷？這道困擾半導體顯示行業(yè)的難題，如今被搖櫓船科技研發(fā)團隊攻克。

近日，工業(yè)和信息化部發(fā)布智能檢測裝備創(chuàng)新產(chǎn)品目錄（第二批），搖櫓船科技自主研發(fā)的Micro-LED晶圓檢測裝備入選。

《智能檢測裝備創(chuàng)新產(chǎn)品目錄》

由工業(yè)和信息化部組織實施，旨在遴選具有自主知識產(chǎn)權、技術先進、市場前景廣闊的智能檢測裝備產(chǎn)品。該目錄重點聚焦制造業(yè)轉型升級需求，通過樹立行業(yè)標桿，引導產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新發(fā)展方向。入選產(chǎn)品需經(jīng)過嚴格評審，代表國內(nèi)智能檢測領域最高技術水平。

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在半導體顯示領域，Micro-LED被譽為下一代顯示技術的“皇冠”。但Micro-LED的核心工藝“巨量轉移”長期被國外企業(yè)壟斷，且傳統(tǒng)檢測極度依賴人工，效率低、誤差大。“搬不準就報廢”一直是困擾行業(yè)的技術瓶頸。

突破Micro-LED終極顯示技術產(chǎn)業(yè)化應用關鍵瓶頸，搖櫓船科技自研的這套裝備能從晶圓上數(shù)百萬顆比頭發(fā)還細的芯片中找到缺陷芯片，幫助顯示面板企業(yè)解決巨量芯片轉移難、檢測難兩大“痛點”。

研發(fā)過程中，為攻克“看不清”、“搬不準”的難題，搖櫓船科技獨創(chuàng)了“反向追蹤”AI模型，通過對數(shù)百萬張芯片圖像的深度學習，反向識別肉眼難辨的缺陷。

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同時，通過自研算法，將外觀缺陷檢測精度控制在1微米以內(nèi)——相當于在一個標準足球場上找到一根繡花針。目前，這套裝備已在國內(nèi)顯示面板行業(yè)一家龍頭企業(yè)得到應用。

值得關注的是，該裝備此前曾獲批2024年《重慶市年度技術創(chuàng)新與應用發(fā)展重大專項》，再次入選國家級目錄，由“省市級”跨越至“國家級”，體現(xiàn)出權威部門對搖櫓船科技“光+AI”技術路線的認可，此項技術也將為我國新型顯示產(chǎn)業(yè)高質量發(fā)展提供更加有力的技術支撐。