近日,由河北大學牽頭申報的“第四代半導體材料AlScN”項目,成功獲批2024年國家重點研發計劃“顛覆性技術創新”重點專項。該專項旨在面向經濟主戰場、面向國家重大需求、面向人民生命健康找方向、找問題,面向世界科技前沿找方法、找答案,開放式選拔、體系化培育戰略價值突出、技術突破顯著的顛覆性技術,對主流技術進行跨越式革新或對“無人區”進行開創性探索,搶先機、開賽道、占高地,催生新產業、新模式、新動能,發展新質生產力。
作為全球新興的半導體關鍵材料,摻鈧氮化鋁(AlScN)因其優異的極化特性和寬禁帶特性,成為新一代高頻高功率電子器件的核心材料。該項目的實施,將重點攻克高質量外延生長、界面優化、極限加工工藝等關鍵技術瓶頸,推進新型半導體制造設備的自主研發,實現AlScN材料及器件的自主可控,填補國內空白,構建從基礎研究到核心技術突破的全鏈條創新體系,促進區域科技資源深度融合,為推動我國半導體產業自主創新,增強全球市場競爭力提供有力支撐。
來源:河北省科學技術廳