3月10日晚間，芯源微發布公告稱，持股5%以上的股東沈陽先進制造技術產業有限公司（簡稱“先進制造”）與北方華創簽署了《股份轉讓協議》，先進制造擬將其持有的1906.50萬股股份以88.48元/股的價格（合計約人民幣16.87億元)，轉讓給北方華創，占總股本的9.49%。

此外，持股5%以上的股東沈陽中科天盛自動化技術有限公司（簡稱“中科天盛”）擬通過公開征集轉讓方式協議轉讓其持有的全部股份1689.98萬股，占總股本的8.41%。

芯源微主要從事半導體專用設備的研發、生產和銷售，產品以光刻工序涂膠顯影設備、單片式濕法設備為主，覆蓋前道晶圓加工、后道先進封裝、化合物半導體等多個領域。

公告披露稱，北方華創將積極通過參與公開掛牌競買等方式繼續增持芯源微股份并取得對公司的控制權。