界面新聞記者 | 江怡曼

3月10日上午，A股光刻機概念股逆勢活躍。截至上午收盤，海立股份再度漲停，茂萊光學、波長光電、炬光科技分別上漲9.1%、4.52%和4.14%。同時，上證指數和深證成指均出現下跌。

值得注意的是，這是海立股份再度漲停，該公司股票曾在3月3日、3月4日實現“兩連板”。

今年以來，光刻機概念指數接連上漲，同花順光刻機指數上漲13.98%。

據了解，光刻機是半導體制造過程中的核心設備，用于將電路圖案通過光學顯影技術轉移到硅片上，從而實現微小結構的制造。它相當于芯片制造的“打印機”，直接決定了芯片的工藝水平和性能。

2024年9月，工信部發布《首臺（套）重大技術裝備推廣應用指導目錄（2024年版）》，其中提到國產氟化氬光刻機的技術突破。這一進展標志著我國在中低端芯片制造領域實現了部分自主可控，提升了行業信心。同時，國家政策對半導體產業的支持，包括資金、稅收優惠等，進一步推動了光刻機行業的發展。

近年來，我國在光刻機領域取得了顯著進展，打破了部分技術封鎖，實現了全流程國產化。國產光刻機的突破不僅減少了對外部供應鏈的依賴，還為國內半導體產業鏈的完善提供了基礎。

中信證券發布研報稱，國內對于光刻機產業鏈的投資和支持力度持續加大，國產高端光刻機的發展有望獲得推動，半導體設備產業鏈將有望同步受益。未來若DUV及EUV設備逐步實現國產化突破，國內先進制程產線有能力逐步實現國產替代，有望迎來新一輪的半導體擴產周期。

該券商還表示，建議關注受到光刻機“卡脖子”問題影響的半導體制造、設備、零部件自主化替代的相關公司，尤其是光刻工藝相關的設備和零部件廠商。此外，受益于國產光刻機突破，未來國內先進制程擴產有望加速。

興業證券發布研報稱，光刻機作為芯片制造光刻環節的核心設備，目前全球前道光刻機被ASML、尼康、佳能壟斷，實現光刻機的國產替代勢在必行，具有重大戰略意義。建議持續關注光刻機產業鏈相關零部件上市公司。