興業證券研報表示，光刻工藝是集成電路制造的關鍵步驟，光刻機是半導體工業皇冠上的明珠。全球晶圓廠設備開支保持強勁，光刻機需求持續提升。光刻機作為芯片制造光刻環節的核心設備，目前全球前道光刻機被ASML、尼康、佳能壟斷，實現光刻機的國產替代勢在必行，具有重大戰略意義。建議持續關注光刻機產業鏈相關零部件上市公司。