12月24日，華海清科（688120.SH）發(fā)布公告，公司擬使用自有資金不超過10.045億元收購(gòu)參股子公司芯崳公司剩余82%的股權(quán)，本次交易完成后，芯崳公司將成為公司全資子公司。

華海清科是一家擁有核心自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的高端半導(dǎo)體裝備供應(yīng)商，主要從事半導(dǎo)體專用裝備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售及技術(shù)服務(wù)，主要產(chǎn)品包括CMP裝備、減薄裝備、劃切裝備、濕法裝備、晶圓再生、關(guān)鍵耗材與維保服務(wù)等，初步實(shí)現(xiàn)了“裝備+服務(wù)”的平臺(tái)化戰(zhàn)略布局。通過本次收購(gòu)，華海清科可以較快實(shí)現(xiàn)對(duì)離子注入核心技術(shù)的吸收和轉(zhuǎn)化，跨越式地完成產(chǎn)品和業(yè)務(wù)板塊布局，是其積極落實(shí)“裝備+服務(wù)”的平臺(tái)化發(fā)展戰(zhàn)略的又一重要突破，將進(jìn)一步提升核心競(jìng)爭(zhēng)力。

據(jù)了解，離子注入設(shè)備是集成電路制造前道工序中的關(guān)鍵設(shè)備之一，銷售額占半導(dǎo)體工藝設(shè)備整體銷售規(guī)模的比重約為3-5%，但其涉及高壓電子、機(jī)械、電氣、計(jì)算機(jī)控制、等離子體物理等基礎(chǔ)科學(xué)，理論門檻高，系統(tǒng)集成難度大。根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，在全球及國(guó)內(nèi)市場(chǎng)中，超過九成的設(shè)備仍由美國(guó)應(yīng)用材料公司、美國(guó)亞舍立公司供應(yīng)，中國(guó)大陸集成電路制造企業(yè)的離子注入設(shè)備仍然主要依賴進(jìn)口，進(jìn)口替代需求空間巨大，市場(chǎng)前景亦十分廣闊。

作為國(guó)產(chǎn)離子注入設(shè)備研發(fā)和生產(chǎn)企業(yè)，芯崳公司是國(guó)內(nèi)少數(shù)能實(shí)現(xiàn)大束流離子注入設(shè)備生產(chǎn)的供應(yīng)商，其核心技術(shù)團(tuán)隊(duì)專注于離子注入行業(yè)30多年，具有豐富的離子注入行業(yè)經(jīng)驗(yàn)，在長(zhǎng)期研發(fā)過程中不斷積累了產(chǎn)品設(shè)計(jì)及工藝性能的核心參數(shù)，較同類競(jìng)品的晶圓顆粒污染控制效果、晶圓的裝載效率更優(yōu)，且設(shè)備零部件的國(guó)產(chǎn)化率更高。目前，芯崳公司實(shí)現(xiàn)商業(yè)化的主要產(chǎn)品為低能大束流離子注入設(shè)備，相關(guān)產(chǎn)品已發(fā)往客戶端驗(yàn)證，已有部分機(jī)臺(tái)實(shí)現(xiàn)驗(yàn)收。

華海清科表示，本次收購(gòu)?fù)瓿珊螅瑢⒓哟蟠祟悩I(yè)務(wù)的研發(fā)投入，以實(shí)現(xiàn)離子注入設(shè)備的持續(xù)迭代升級(jí)和新產(chǎn)品開發(fā)，進(jìn)一步加快落實(shí)公司“裝備+服務(wù)”的平臺(tái)化發(fā)展戰(zhàn)略，豐富公司產(chǎn)品品類，帶來(lái)新的業(yè)務(wù)增長(zhǎng)點(diǎn)。