晶盛機(jī)電近日在接受調(diào)研時(shí)表示，近日，子公司浙江晶盛光子科技有限公司自主研發(fā)的電池片設(shè)備成功出口海外客戶。此次晶盛光子出口海外的產(chǎn)品包括PECVD、LPCVD和管式低壓磷擴(kuò)散爐三款最新設(shè)備。其中，PECVD設(shè)備獨(dú)特的細(xì)絲爐體設(shè)計(jì)，使效率分布更加收斂；LPCVD設(shè)備腔內(nèi)熱場分布更加均勻，Poly-Si沉積膜厚均勻性超業(yè)內(nèi)水平；管式低壓磷擴(kuò)散爐創(chuàng)新應(yīng)用了法蘭獨(dú)立水冷等設(shè)計(jì)，進(jìn)一步改善了熱管理和氣流控制能力。這三款電池片設(shè)備此次出口海外，將在很大程度推動(dòng)高效電池技術(shù)擴(kuò)產(chǎn)。